Hivatkozás megosztása e-mailben
Nem töltött ki minden kötelező mezőt.
e-mail küldése

Bypass CMOS érzékelő

A mérés közvetlenül a bypass csatornában történik.

A főcsatornában elhelyezett lamináris áramlási elem enyhe nyomásesést hoz létre, miáltal a teljes áramlás egy kisebb részét az elkerülő csatornába vezeti. Az abban elhelyezett érzékelő a hőmérséklet-különbség mérésével közvetlenül méri a tömegáramot. Ebben az esetben a mérés egy speciális formájúra alakított áramlási csatornában történik, aminek a falán egy Si-chip található, egy szabaddá maratott membránnal. Ezen a membránon a CMOSens® technológiát alkalmazva egy fűtőellenállás, valamint azzal párhuzamosan egy-egy hőmérséklet-érzékelő (az áramlás irányába és az áramlási iránnyal szemben) vannak elhelyezve. Ha a fűtési ellenállást állandó feszültséggel táplálják, akkor a hőmérséklet-érzékelők feszültségkülönbsége az áramlási csatornában a chip felett átáramló gáz tömegáramának mértéke.

A bypass érzékelő működési sémája CMOS-Sens technológiával (az elkerülő csatorna részlete)